檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="\u0026nbsp\u003B準分子雷射退火" and ckeyword.raw="線上光學監控技術" and ckeyword.raw="線上光學監控技術"
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本研究運用準分子雷射退火矽膜再結晶特性之線上光學雙檢測雷射系統即時檢測出非晶矽薄膜於準分子雷射退火期間反射率與穿透率之變異性,進而分析相關物理現象和量測矽膜融化時間;此外本研究亦改變矽膜厚度和基板預…