檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="工業管理系" and ckeyword.raw="微影工程" and ckeyword.raw="晶圓"
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半導體晶圓廠是一個非常複雜的製造環境,其中包含250至300種製程機台,需執行幾百甚至有上千種不同製程步驟。在執行興建新的晶圓廠前需要做許多面向的考量,包含廠址選擇、設定製程目標、機台選定等,建廠時…