檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="光電工程研究所" and cdept.raw="光電工程研究所" and ckeyword.raw="電導法"
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本論文分為兩部分,第一部分探討不同氮氣流量下成長之氮化鋁,其晶粒大小對漏電流的影響。第二部分探討探討不同厚度的氮化鋁鈍化層,其等效固定電荷 Qeff、絕緣層陷阱電荷密度Not 以及介面缺陷密度Dit…