檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cdept.raw="光電工程研究所" and cdept.raw="光電工程研究所" and ckeyword.raw="氧電漿處理"
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本論文探討分為兩部分,第一部分用微波電漿化學氣相系統(MPCVD)成長奈米鑽石薄膜,利用不同製程氣體比例(氬氣、氮氣、甲烷、氫氣)與氧電漿後處理改變薄膜品質;第二部分探討兩種製程之矽奈米線對pH靈敏…
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在本研究中二硒化鎢是一種p型半導體,它擁有良好的光電特性,例如載子遷移率和光響應度。不過在半導體的元件應用當中,需要有n型材料與p型材料搭配。因此,本研究中我們透過氧電漿對二硒化鎢進行處理,因為材料…