檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="光電工程研究所" and cdept.raw="光電工程研究所" and ckeyword.raw="奈米壓印微影"
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氮化鎵材料生長在藍寶石基板難以劈裂,本論文研究以非劈裂式方法製作邊射型雷射共振腔反射面,用黃光微影與乾式蝕刻定義出共振腔的區域,並以奈米壓印微影技術取代電子束微影技術製作氮化鎵分佈回饋式雷射的光柵結…