檢索結果:共3筆資料 檢索策略: cdept.raw="光電工程研究所" and cdept.raw="光電工程研究所" and ckeyword.raw="化學氣相沉積法"
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本論文利用氧氣吸附於石墨烯表面造成其內部之載子濃度改變來獲得p型半導體特性的石墨烯。實驗中,利用熱化學氣相沉積法製作石墨烯,並利用氮電漿對石墨稀進行摻雜,以C-N的鍵結讓石墨烯的半導體特性由p型轉變…
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本篇論文主要研究方向在使用以醋酸鋅為蒸發源的化學氣相沉積法製作氧化鋅薄膜。以不同的氣體當載氣(氧氣和氬氣)和控制不同成長溫度來製造氧化鋅薄膜於矽基板上。薄膜分析以掃描電子顯微鏡、X光繞射譜線、拉曼散…
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近年來,二維層狀材料因為其獨特的物理與化學特性而廣受關注,其中,過渡金屬硫化物已經在過去幾年中被探索,並且在光電領域中展現了優異的特性。在本實驗中,我們透過化學氣相沉積法分別於二氧化矽基板上成長n型…