檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="趙振綱" and cadvisor.raw="趙振綱" and ckeyword.raw="近接曝光"
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本論文為研究以近接曝光製作微結構應用於光學增亮膜之方法,利用兩種不同的光阻:JSR與AZP4620,個別探討其特性。針對負光阻JSR,利用TracePro模擬軟體建構出光學系統,以不同外型尺寸的結構…