檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="林榮慶" and cadvisor.raw="林榮慶" and ckeyword.raw="莫氏勢能之結合能"
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摘要 本研究先以下壓力對未浸泡研磨液的單晶矽基板進行原子力顯微鏡(AFM)加工,得出單晶矽基板未浸泡研磨液的比下壓能值。然後再利用較小的下壓力對浸泡室溫研磨液之單晶矽進行AFM加工實驗,以比下壓能理…
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本研究提出創新的計算受不同溫度研磨液化學反應影響之單晶矽基板化學反應層內的莫氏勢能之結合能計算方法。本研究先以下壓力對未浸泡研磨液的單晶矽基板進行原子力顯微鏡(AFM)加工,得出單晶矽基板未浸泡研磨…