檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="張瑞慶" and cadvisor.raw="趙振綱" and cadvisor.raw="趙振綱"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
本文探討鈦(Ti)薄膜及氧化銦錫(Indium tin oxide, ITO)薄膜沈積於不同基材的殘留應力。鈦以電子束蒸鍍及射頻濺鍍製程沈積200nm厚度薄膜於矽晶圓基材表面上;氧化銦錫以射頻濺鍍製…