本研究旨在開發一套自動化光學檢測系統用來量測微流道尺寸。近年來，微流道晶片相關之研究興盛發展，會有越來越多的相關產品出現，不同微流道尺寸有著不同之用途，對於尺寸就相當的重要，且由於微流道晶片是由蓋板以及流道兩個部分經黏合所構成，必須切開晶片顯示出微流道截面方能量測，此時晶片已無法使用造成浪費，因此本研究開發專用治具搭配光學取像模組拍攝微流道晶片之影像，並傳送至電腦作影像處理取得所需資訊後經由演算法運算得出尺寸，檢驗微流道尺寸是否符合設計容差規範，達成非破壞、非接觸式量測，最後以工具顯微鏡量測微流道作為值參考，與本研究量測尺寸數據作驗證誤差率達± 2 %。

This study aims to develop an automated optical inspection system for measuring microchannel dimension. Research about microfluidic chip has flourished in recent years. There will be more and more related products which are important for dimension appearing. Therefore we developed a non-destructive and non-contact measurement for bonded microfluidic chip to verify whether the microchannel dimension meets the tolerance specification. The data measured with measurement system we’ve developed is compared with the reference value measured with toolmaker microscope. The error obtained after comparing reaches ± 2 %.

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