研究生: |
許世民 Shih-Min Hsu |
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論文名稱: |
化學機械研磨終點檢測之專利創研機制之研究 Study of Patent Innovation Mechanism for End Point Detection of Chemical and Mechanical Polishing |
指導教授: |
蔡明忠
Ming-Jong Tsai |
口試委員: |
江茂雄
Mao-Hsiung Chiang 詹朝基 Chao-Chi Chan |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工程學院 - 自動化及控制研究所 Graduate Institute of Automation and Control |
論文出版年: | 2007 |
畢業學年度: | 95 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 97 |
中文關鍵詞: | 化學機械研磨 、終點檢測 、本體論 、技術功效矩陣 、TRIZ 、專利創研機制 |
外文關鍵詞: | Chemical and Mechanical Polishing, End Point Detection, Ontology, Technical Efficiency Matrix, TRIZ, Patent Innovation Mechanism |
相關次數: | 點閱:244 下載:7 |
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本論文主要在研究一個以化學機械研磨終點檢測之專利創研機制,以輔助使用者在終點檢測達到專利新構想產生為目的。本研究分析110篇終點檢測專利,利用本體論概念建立化學機械研磨終點檢測之本體知識,再建立終點檢測之技術功效矩陣,利用此技術功效可讓使用者了解此領域在專利上的技術與功效的分佈,有助於研發人員在創新新構想的方向。且依據技術功效表中的功效,建立屬於終點檢測之TRIZ矛盾矩陣,利用此矩陣可以讓此領域的使用者,在創研上更得心應手。
本研究並使用JAVA程式與DB2資料庫建立本創研機制之系統化驗證平台,內容包括系統描述與分析、問題描述、技術矛盾、解決方法五步驟。然後以三個問題為方向,利用此創研平台去進行解決問題,確實可以得到三種可能的新構想,利用此創研機制可以幫助使用者在化學機械研磨終點檢測領域上,達到問題的解決與專利上的創新。
This paper is to develop a patent innovation mechanism for end point detection of chemical and mechanical polishing. It can help users to create innovated patents in the field of end point detection. This research analyzes 110 related patents. The ontology method is used to establish ontology knowledge and technical efficiency matrix for end point detection of chemical and mechanical polishing. A TRIZ contradiction matrix for end point detection is also built to help users to obtain a new conception direction.
This research used JAVA and DB2 to establish the demonstration system. The system included system analysis, question description, technical contradiction, solution guide. Three different questions can give to evalue the system. Three new conception were obtained shows that the mechanism is useful to help the user to slove related question.
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