本研究運用四象儀量測系統與雷射都卜勒位移器針對設計之摩擦式導軌移動平台進行直線度、偏搖度及俯仰度誤差量測與分析。實驗主要探討移動平台之間隙微調螺絲在不同程度調整下對移動平台作動所造成之影響，適當的調整間隙微調螺絲的鬆緊程度，對於直線度誤差、偏搖度及俯仰度誤差皆能有一定程度上的性能改善。利用ADAMS進行動態模擬分析，在模擬中，以彈簧與預壓力取代間隙微調螺絲的鬆緊程度調諧，探討彈簧預壓力、配合度間隙與導軌圓軸平行度對於直線度誤差的影響。經由模擬結果得知，導軌圓軸平行度為影響直線度誤差的主要原因，此外，適當的彈簧預壓力能有效的減少直線度誤差。

This study is proposed to measure the straightness error, yaw error, pitch error of motion stage by using Quad Detector and Laser Doppler Displacement Meter. The experimental design is developed to find the effects of adjusting screw on motion stage in different conditions. Experimental results are shown that the straightness error can be improved effectively through the adjustment of motion stage screw. Using ADAMS software simulates the motion stage to obtain straightness, yaw and pitch error. From the simulation result, straightness error is affected by guideway parallel, and the suitable pre-load can improve the error effectively.

[1]林茂興，「線性滑軌滑塊與軌道介面剛性和阻尼值的驗證」，國立中興大學機械工程學系研究所碩士論文，民國八十八年六月。
[2]陳正恭，「線性滑軌剛性分析與截面設計」，大葉大學機械工程研究所碩士論文，民國九十四年六月。
[3]賴振平，「虛擬精密線性移動平台剛性分析及動態模擬之研究」，國立雲林科技大學機械工程技術研究所碩士論文，民國八十八年六月。
[4]洪健倫，「進給機構之動態模擬與分析」，國立台北科技大學製造科技研究所碩士論文，民國九十一年六月。
[5]陳俊仁，「使用雷射四象儀檢測精密機具性能」，國立成功大學機械工程學研究所碩士論文，民國九十一年六月。
[6]周敬棠，「介觀機具線性軸性能檢測系統之建立」，國立虎尾科技大學動力機械工程研究所碩士論文，民國九十三六月。
[7]吳啟楨，「掃描器傳動機構研究」國立台北科技大學製造科技研究所碩士論文，民國九十二年七月。
[8]陳永為，「新型平面滑軌之參數鑑別及預壓之調整」，國立清華大學動力機械工程學系研究所碩士論文，民國九十三年七月。
[9]楊鎮在，「工具機新型平面滑軌之動態特性研究」，國立清華大學動力機械工學學系研究所碩士論文，民國九十一年八月
[10]鄭信恩，「CNC工具機動態精度的分析與改善」，國立台灣工業技術學院工程技術研究所機械工程技術學程碩士論文，民國八十二年六月。
[11]陳木榮，「高精密六自由度誤差量測系統之研製與應用」，國立台灣大學機械工程學系研究所博士論文，民國八十六年六月。
[12]范光照、張郭益，精密量測，高立圖書有限公司，民國九十四年。

[13]傅增棣，電腦輔助工程設計：ADAMS基礎應用手冊，高立圖書有限公司，民國九十三年。
[14]陳啟松，工具機誤差與檢驗，全華科技圖書，民國八十三年。
[15]盧明智、盧鵬任，感測器應用與線路分析，全華科技圖書，民國八十五年。
[16]“Laser Doppler Displacement Meter User’s Guide”OPTODYNE, INC.
[17]“2D PSD Signal Processing Circuit For Dual-lateral type PSD Operation Manual”HAMAMATSU.