檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "Ying-Tung Chen".ecommittee (精準)
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本研究主要是將化學機械拋光(Chemical Mechanical Planarization Process,CMP)拋光墊(Pad)與晶圓接觸之拋光墊粗度峰(Asperity)的彈性變形,由聚氨…
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射出成形技術製造微米尺度光學元件較為困難,因需要同時控制多個製程參數使產品於誤差範圍內。本研究將模擬退火法(Simulated Annealing, SA)與基因演算法(Genetic Algori…
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目前太陽能電池製程前端所使用之結晶矽基板,主要以複線式線鋸加工技術(Multi Wire Sawing)進行矽晶錠切片(Slicing),其中游離磨料線鋸受到切割高硬脆材料效率不佳、漿料會對環境汙染…