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  • 檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "Whang-Zong Wu".ecommittee (精準)


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    電致動力輔助化學機械平坦化製程應用於玻璃穿孔晶圓平坦化研究
    • 機械工程系 /104/ 碩士
    • 研究生： 郭尚儒   指導教授： 陳炤彰
    • 隨著半導體產業發展，三維堆疊積體電路(3DS-IC)為突破莫爾定律的關鍵技術之一，其透過中介層(Interposer)之使用進行異質元件間三維堆疊接合。目前中介層主要為矽穿孔(Through-Sil…
    • 點閱：294  下載：3 

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    電致動力輔助化學機械平坦化加工之雙向交錯式電極開發應用於矽導微孔晶圓研究
    • 機械工程系 /106/ 碩士
    • 研究生： 林昱銘   指導教授： 陳炤彰
    • 本研究主要為設計雙向交錯式電極，研發新一代電致動力輔助化學平坦化(Electro-Kinetic Force Chemical Mechanical Plolishing, EKF-CMP)系統，應…
    • 點閱：335  下載：8 

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    線上拋光墊性能監測之彩色共軛焦系統取樣分析
    • 機械工程系 /106/ 碩士
    • 研究生： 陳俊臣   指導教授： 陳亮光 、 陳炤彰
    • 本研究主要為研發線上拋光墊監測系統，透過彩色共軛焦量測系統架設應用於旋轉式拋光機台，利用拋光盤面的旋轉運動以及搖臂的搖擺旋轉運動，搭配彩色共軛焦系統擷取高度資訊，進行線上監測之拋光墊表面形貌的掃描及…
    • 點閱：315  下載：3 
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