檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "Low temperature polycrystalline silicon".ekeyword (精準)
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準分子雷射重熔矽膜是目前加工低溫多晶矽最常見的手法,但在狹小的製程窗口下其複雜的結晶機制,往往難以控制。大多數的製程參數設定都是以試誤法的方式來進行調整。但是在試誤過程中所耗費的人力、資源及時間難以…
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為了實現塑膠基板薄膜電晶體的目標,我們成功地利用反應式濺鍍的方式來沉積對351nm波長具備0~56000cm-1吸收係數之SixNy半透光膜,並配合熱滯留輔助結晶技術,在塑膠基板上開發出超低溫多晶矽…
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由於出色的色彩表現、快速的響應時間、高對比度和低功耗等優點,主動式有機發光二極體(AMOLED)廣泛應用於顯示技術。近年來,高階攜帶式產品的顯示面板不僅要求高解析度 (high resolution…