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  • 檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "Li-Sheng Hsu".ecommittee (精準)


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    電致動力應用於銅化學機械拋光平坦化效應研究
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生： 蔡岳勳   指導教授： 陳炤彰
    • 半導體製程中昂貴複雜及無可取代之製程-化學機械拋光/平坦化(Chemical Mechanical Plolishing/Planarization, CMP)，因具可有效地解決銅導線化及特徵尺寸進…
    • 點閱：295  下載：7 

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    化學機械拋光之拋光墊性能分析與平坦化加工研究
    • 機械工程系 /99/ 碩士
    • 研究生： 薛慶堂   指導教授： 陳炤彰
    • 拋光墊的物性和表面性質會強烈的影響到平坦化加工的效果和效率。除了物性和表面性質外，拋光墊的溝槽設計亦是重要的一環。良好的溝槽圖案具有增進拋光液的利用率、調整拋光液層、排除平坦化後的殘餘物和調整拋光墊…
    • 點閱：313  下載：40 

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    硬脆材料的鑽石線鋸加工研究之理論和實驗分析
    • 機械工程系 /108/ 博士
    • 研究生： Ajay Gupta   指導教授： 陳炤彰
    • 固定式磨料或鑽石線鋸切割技術（DWS）隨著技術的進步已逐漸被開發為游離磨料線鋸切削（SWS）的潛在替代品，可用於對硬質和脆性材料進行切片。儘管此技術有許多優點，DWS工藝仍會在切割表面上造成粗糙度、…
    • 點閱：282  下載：4 
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