簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "Li-Hsin Lu".ecommittee (精準)


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    電致動力輔助化學機械平坦化加工之雙向交錯式電極開發應用於矽導微孔晶圓研究
    • 機械工程系 /106/ 碩士
    • 研究生： 林昱銘   指導教授： 陳炤彰
    • 本研究主要為設計雙向交錯式電極，研發新一代電致動力輔助化學平坦化(Electro-Kinetic Force Chemical Mechanical Plolishing, EKF-CMP)系統，應…
    • 點閱：334  下載：8 

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    線上拋光墊性能監測之彩色共軛焦系統取樣分析
    • 機械工程系 /106/ 碩士
    • 研究生： 陳俊臣   指導教授： 陳亮光 、 陳炤彰
    • 本研究主要為研發線上拋光墊監測系統，透過彩色共軛焦量測系統架設應用於旋轉式拋光機台，利用拋光盤面的旋轉運動以及搖臂的搖擺旋轉運動，搭配彩色共軛焦系統擷取高度資訊，進行線上監測之拋光墊表面形貌的掃描及…
    • 點閱：312  下載：3 
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