檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Jia-Han Li".ecommittee (精準)
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微影製程是半導體產業不斷前進的重要技術,透過將微縮線路用光學投影在晶圓上,將特徵尺寸不斷縮小,而數位微影製程捨棄了對光罩的使用,能透過如數位微反射鏡(Digital Micromirror Devi…
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三維先進封裝可以透過層層堆疊擴展每個3D芯片的功能,遠遠超出傳統縮放的能力,然而進一步的尺寸小型化為半導體行業帶來了巨大的挑戰,其中在晶圓鍵合過程中對準量測技術為關鍵的製程步驟,在鍵合前能夠準確將晶…