檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Hai-Ping Tsui".ecommittee (精準)
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在發展微機電系統過程中,精密加工是必要且迫切,以至於傳統加工(如:铣床、鑽床等)已不符合其需求,因此製作微結構產品之加工方法是重要且必須完成的,其中電化學加工,便屬於非傳統之特殊微細加工的一種,其特…
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本研究目的主要在進行後段導線製程 (Back End of Line, BEOL)中,銅導線的化學機械拋光之化學能與機械能佔比分析。由銅膜晶圓、鉭膜晶圓之化學機械拋光製程實驗,藉由集合式電錶即時觀測…