檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Ddiffusion".ekeyword (精準)
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銅具有比鋁高之擴散速率,容易擴散至其他材料中形成化合物, 因此必須在銅的上方或下方,以PVD 或者是CVD 的方式沈積一層緩 衝層(Buffer Layer),目前緩衝層材料以Mo 或MoW 為主,…