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    搖臂式修整於拋光墊之平坦度與接觸面積分析化學機械拋光影響研究
    • 機械工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 廖啟宏 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究為探討搖臂式修整後拋光墊接觸面積對於CMP的影響,首先建立量測接觸面積之方法,接著探討修整與接觸面積之間的關係,利用拋光墊的粗糙度、承載面積比與接觸面積進行相關性分析,因為粗糙度與承載面積比經…
    • 點閱:336下載:0
    • 全文公開日期 2026/08/29 (校內網路)
    • 全文公開日期 2026/08/29 (校外網路)
    • 全文公開日期 2026/08/29 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    可調式足弓支撐功能鞋墊於各足弓類型族群之成效評估
    • 醫學工程研究所 /111/ 碩士
    • 研究生: 莊承軒 指導教授: 林上智
    • 足部的健康程度會大幅影響我們的日常活動能力,而大多數人往往卻不會將其當一回事。直到足部出現問題後,才會了解其對我們的重要性。而根據過去的文獻顯示,我們可以得知具足弓支撐功能的鞋墊可以降低足部…
    • 點閱:259下載:0
    • 全文公開日期 2033/08/08 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    拋光墊表面微突起接觸面積對銅薄膜晶圓化學機械拋光之影響研究
    • 機械工程系 /110/ 碩士
    • 研究生: 林峻宇 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究目的為下壓力對於軟拋墊表面微突起接觸面積的影響與材料移除率預測模型應用於銅薄膜化學機械拋光製程。實際方法使用X-ray電腦斷層掃描儀進行軟拋墊的微觀形貌掃描,再透過三維分析軟體組建軟拋墊的微觀…
    • 點閱:214下載:0
    • 全文公開日期 2024/09/19 (校內網路)
    • 全文公開日期 2027/09/19 (校外網路)
    • 全文公開日期 2027/09/19 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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