檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "高熵合金薄膜".ckeyword (精準)
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本研究分為兩個部分，第一部分以等原子比VNbMoTaW高熵合金靶材進行濺鍍，並於製程中控制不同氮氣通量，以製備不同氮含量之高熵合金薄膜；在第二部分使用Cr靶材與VNbMoTaW高熵合金靶共濺鍍，並改…
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本研究以VNbMoTaW高熵合金靶材分別跟Al靶材和CrB2合金靶材進行共濺鍍，並將薄膜進行300、500、800 度一小時高溫氧化測試，探討鋁或鉻、硼元素增加對VNbMoTaW高熵合金薄膜的影響。…
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近年來由於高熵合金具有高硬度與良好的熱穩定性等各種優異性能，因此引起了學術研究界和工業界的廣泛關注，其中ZrTiNbSiFe 高熵合金薄膜更是擁有良好熱穩定性。本研究使用高功率脈衝磁控濺射 (HiP…