簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "銅導線".ckeyword (精準)


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    電致動力應用於銅化學機械拋光平坦化效應研究
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生： 蔡岳勳   指導教授： 陳炤彰
    • 半導體製程中昂貴複雜及無可取代之製程-化學機械拋光/平坦化(Chemical Mechanical Plolishing/Planarization, CMP)，因具可有效地解決銅導線化及特徵尺寸進…
    • 點閱：286  下載：7 

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    富勒烯複合拋光液應用於電致動力輔助銅化學機械拋光研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生： 邱上峰   指導教授： 陳炤彰
    • 隨著積體電路(Integrated Circuit, IC)迅速發展演進，晶圓上金屬導線之線寬隨科技發展越來越小，在微型化發展過程中，為達金屬導線線寬微小化之目的，則需進行高解析度之微影製程，晶圓表…
    • 點閱：355  下載：1 
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