檢索結果:共7筆資料 檢索策略: "許厲生".ccommittee (精準)
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建立特殊規格零件需參考設計規範,然而設計規範是由許多表格與公式組合而成,使用者必須依據規格查表得到數值,再使用數值進行計算得到零件尺寸,最後利用所得到的尺寸建立零件的3D幾何模型,其過程相當繁雜且費…
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標準機械零件是機械設備的基本組成元素,常見如:螺栓、螺帽、銷、鍵及扣環等,其幾何與尺寸皆依標準規範製成,因此標準機械零件具有極佳的互換性,是工業界不可或缺的零件。 在機械零件的設計範疇中,存在大量幾…
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經過近幾年來的開發,Pro/ENGINEER標準零件庫系統已相當成熟,並擁有完善的使用者操作介面及完整的資料庫架構,但在零件庫的資料新增方面,尚需靠人工逐項輸入成資料庫格式,由於資料庫格式相當嚴謹,…
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拋光墊的物性和表面性質會強烈的影響到平坦化加工的效果和效率。除了物性和表面性質外,拋光墊的溝槽設計亦是重要的一環。良好的溝槽圖案具有增進拋光液的利用率、調整拋光液層、排除平坦化後的殘餘物和調整拋光墊…
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化學機械拋光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)因具有快速移除材料且可達全面性平坦化之需求而成為近來半導體製程中最受矚目的平坦化技術,但隨著圖型尺寸逐漸微小化以及…
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半導體製程中昂貴複雜及無可取代之製程-化學機械拋光/平坦化(Chemical Mechanical Plolishing/Planarization, CMP),因具可有效地解決銅導線化及特徵尺寸進…
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固定式磨料或鑽石線鋸切割技術(DWS)隨著技術的進步已逐漸被開發為游離磨料線鋸切削(SWS)的潛在替代品,可用於對硬質和脆性材料進行切片。儘管此技術有許多優點,DWS工藝仍會在切割表面上造成粗糙度、…