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    1

    製備與研究奈米鑽石薄膜沉積於矽及鈮酸鋰基板
    • 機械工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 林永欽 指導教授: 陳貴賢 林麗瓊 林舜天
    • 在本論文中,我們研究使用微波輔助化學氣相沉積系統來成長奈米鑽石薄膜於矽及鈮酸鋰基板上,藉由控制溫度、氣體組成及成長壓力,我們可得到表面平坦且品質良好的鑽石薄膜。 鈮酸鋰有很高的機電耦合係數,和奈米鑽…
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    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    化學反應輔助複線式鑽石 線鋸切割製程於鉭酸鋰晶圓之研究
    • 機械工程系 /108/ 碩士
    • 研究生: 陳冠丞 指導教授: 陳炤彰
    • 鉭酸鋰(Lithium Tantalate, LT)是一種鐵電(Ferroelectric)晶體,具有獨特優異的焦電(Pyroelectric)、壓電(Piezoelectricity)和電光(El…
    • 點閱:278下載:1
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