檢索結果：共29筆資料 檢索策略： "葉文昌".ccommittee (精準)
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準分子雷射常用於重熔矽膜，以製備低溫多晶矽，但由於製程窗口狹小而難以控制其複雜的結晶機制。大多數的製程參數設定，都是以試誤法來進行調整，然而在試誤的過程中，所耗費人力、時間及資源難以估計。若能以電腦…
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準分子雷射常用於重熔矽膜，以製備低溫多晶矽，製程參數的設定，大都是以實驗方式得到。由於電腦科技的進步，模擬鑄件的凝固已被用工業廣為採用。本論文主要目的是以ProCAST模擬矽膜的重熔與凝固，並利用長…
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由於石油將於本世紀內用磬，尋找新的替代能源已是當務之急。太陽能乾淨且幾乎無限，所以許多科學家都在努力研發高效率低成本太陽電池。目前太陽電池多為單晶矽或多晶矽之p-n接面，這種傳統結構之轉換較率已逼近…
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目前多晶矽薄膜橫向長晶製程參數研究，大多採用嘗試錯誤的方法，透過實驗室實際製程來對每一個參數進行操控，並以此來瞭解各個參數對長晶的影響。然而橫向長晶的影響參數眾多，因此這樣的方法耗力而且耗時。由於多…
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在過去50年來，隨著墨爾定律不停微縮電晶體。我們希望電晶體微縮到達每一個技術世代時，都能使得電路操作速度更快，同時具有更高的電路積極度。不過，隨著電晶體不停的微縮，要如何確保元件的可靠度以及功率損耗…
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準分子雷射重熔矽膜是目前加工低溫多晶矽最常見的手法，但在狹小的製程窗口下其複雜的結晶機制，往往難以控制。大多數的製程參數設定都是以試誤法的方式來進行調整。但是在試誤過程中所耗費的人力、資源及時間難以…
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本研究建構一套準分子雷射退火矽膜再結晶特性之線上光學檢 測系統，可以線上即時檢測出非晶矽薄膜於準分子雷射退火期間反射率與穿透率之變異性，進而分析相關物理現象並提出矽膜之相變化機制。藉由線上光學檢測系…
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複晶矽薄膜電晶體 (Poly-Si TFTs) 在許多方面上的應用是非常引人注目的，例如記憶體、主動式液晶顯示器和數位相機等，原因不外乎是因為低溫複晶矽薄膜電晶體具有很高的電子移動率(field e…
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因本實驗室所建立的線上光學檢測系統於準分子雷射退火矽膜所擷取之反射率與穿透率波形，如能利用TEM斷面分析互相驗證，並觀察矽膜退火後之微結構變化將能更確定矽膜的成長機制，也間接肯定其系統的正確性，故本…
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當傳統金氧半元件微縮化至深次微米製程,新的可靠性問題產生了。這其中包含了短通道效應、熱載子效應、閘極引起汲極漏電流。穿透式場效電晶體在高度微縮化時可以提供較小的短通道效應、小的熱載子效應、小的閘極引…