檢索結果:共116筆資料 檢索策略: "濺鍍".ckeyword (精準)
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本研究利用射頻電漿濺鍍沉積氧化銦錫(ITO)薄膜於水溶性高分子polystyrene sulfonate (PSS)上,以翻膜轉印之技術將ITO薄膜轉移至有機高分子材料表面,作為有機光電元件之透明電…
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本實驗設計並製造一種利用陽極層離子源的離子束濺鍍模組。此模組將一倒置的環形陽極層離子源與濺鍍靶材做結合,以減少所需的真空腔體。利用此離子束濺鍍模組將氧化銀沉積在石英基板上。研究結果顯示,銀僅在氧氣分…
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本研究主要是探討在室溫下以反應磁控濺鍍系統,先以銀靶材濺鍍找出能形成 Ag 2 O 的最適氬氣/氧氣的流量比後,再利用該最佳濺鍍條件進行由化學合成得到的氧化銀/氧化鋅複合粉體所熱壓的自製靶材來製作氧…
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此實驗以反應式離子束濺鍍法成長氧化銀薄膜,採用毛細式離子源(6∼8 kV、100∼500 uA)及陽極層離子源 (0.7 kV、13.5 mA) ,同時通入氬氣及氧氣,氬氣為濺鍍氣體,氧氣為反應氣體…
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近年來,研究人員紛紛投入CIGSe太陽能薄膜電池真空製程的研究中,而真空製備的方法眾多,主要分為蒸鍍與濺鍍製程,本實驗使用真空濺鍍製程當作主要製程。目前高效率的製程多屬於共蒸鍍系統,最高可達到20%…
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使用反應式離子束濺鍍法成長氧化鋅鎂薄膜已成功的被製作。本論文將使用反應氣體氧氣參與離子束濺鍍Mg0.1Zn0.9金屬靶材,以(111)矽基板溫度360、400及500℃成長氧化鋅鎂薄膜MgxZn1-…
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近年來,有越來越多人開始投入太陽能電池的研究,因此技術進步的很快,目前研究雖然都有不錯的轉換效率,但由於成本高昂,故一直無法普及,因此找尋新的材料來壓低太陽能電池成本是必需的,然而在各種新材料被研究…
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使用毛細式離子源濺鍍氧化鋅靶,沉積氧化鋅薄膜於晶向(100)矽基板上,隨後於氧與氮氣氛下退火,討論不同退火條件對氧化鋅薄膜特性之影響。 XRD顯示未退火之氧化鋅薄膜無任何繞射峰值,ZnO(002)繞…
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本論文使用分子動力學模擬(molecular Dynamics, MD)模擬原子鎢/鎳濺鍍在銅基材,探討薄膜的成長機制與成長形貌,並且使用粗糙度及覆蓋率來評估薄膜品質,而模擬的濺鍍製程參數包括基材的…
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本研究以磁控濺鍍之方式,製作氧化白金(Oxide Platinum)、純白金(Pure Platinum) 以及共濺鍍Pt + YSZ 等三種不同電極於多孔性陽極氧化鋁(anodic aluminu…