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  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "搖臂式修整".ckeyword (精準)


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    搖臂式修整於拋光墊之平坦度與接觸面積分析化學機械拋光影響研究
    • 機械工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 廖啟宏 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究為探討搖臂式修整後拋光墊接觸面積對於CMP的影響,首先建立量測接觸面積之方法,接著探討修整與接觸面積之間的關係,利用拋光墊的粗糙度、承載面積比與接觸面積進行相關性分析,因為粗糙度與承載面積比經…
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    • 全文公開日期 2026/08/29 (校內網路)
    • 全文公開日期 2026/08/29 (校外網路)
    • 全文公開日期 2026/08/29 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    化學機械平坦化之行星式及搖臂式動態模型對拋光墊修整分析與影響研究
    • 機械工程系 /110/ 碩士
    • 研究生: 宋政潮 指導教授: 陳炤彰
    • 在化學機械平坦化製程中,化學拋光液和晶圓移除的殘屑可能會積 聚在拋光墊表面,通過修整製程去除這些殘屑。故此拋光墊修整對於 CMP 性能至關重要且影響 IC 製造良率。本研究主要針對比較行星式修 整和…
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