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    乙二胺四乙酸溶液輔助複線式鑽石線鋸加工製程於鉭酸鋰晶圓之研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 蔣易達 指導教授: 陳炤彰
    • 鉭酸鋰晶圓(Lithium Tantalate, LT)於材料上具有獨特優異的焦電(Pyroelectric)、壓電(Piezoelectricity)和電光(Electro-optic)等特性,此…
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