檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "崔海平".ccommittee (精準)
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在發展微機電系統過程中，精密加工是必要且迫切，以至於傳統加工(如:铣床、鑽床等)已不符合其需求，因此製作微結構產品之加工方法是重要且必須完成的，其中電化學加工，便屬於非傳統之特殊微細加工的一種，其特…
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本研究目的主要在進行後段導線製程 (Back End of Line, BEOL)中，銅導線的化學機械拋光之化學能與機械能佔比分析。由銅膜晶圓、鉭膜晶圓之化學機械拋光製程實驗，藉由集合式電錶即時觀測…
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固定式磨料或鑽石線鋸切割技術（DWS）隨著技術的進步已逐漸被開發為游離磨料線鋸切削（SWS）的潛在替代品，可用於對硬質和脆性材料進行切片。儘管此技術有許多優點，DWS工藝仍會在切割表面上造成粗糙度、…