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    軟韌性聚氨酯拋光墊之鑽石修整加工分析研究
    • 機械工程系 /102/ 碩士
    • 研究生: 陳冠中 指導教授: 陳炤彰
    • 隨著科技日新月異地進步,從今日的12吋晶圓至未來即將進入的新世代18吋晶圓,半導體產品已成為人類的生活不可或缺之必需品,並隨著曝光微影的線寬持續降低,化學機械平坦化已成為半導體製程中關鍵的技術。而製…
    • 點閱:203下載:9

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    分子動力學模擬不同冷卻速率之鐵鎢合金的結晶度與切槽行為
    • 機械工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 紀承翰 指導教授: 林原慶
    • 本論文使用分子動力學模擬鐵/鎢合金塊材,改變刀具之刀斜角(Rake Angle),探討切削時材料塑變行為與切削力之變化,並利用不同切削速度探討切削後之溝槽表面粗糙度。將二元合金熔煉後,利用不同冷卻速…
    • 點閱:214下載:6
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