檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "剪切角".ckeyword (精準)
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隨著科技日新月異地進步,從今日的12吋晶圓至未來即將進入的新世代18吋晶圓,半導體產品已成為人類的生活不可或缺之必需品,並隨著曝光微影的線寬持續降低,化學機械平坦化已成為半導體製程中關鍵的技術。而製…
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本論文使用分子動力學模擬鐵/鎢合金塊材,改變刀具之刀斜角(Rake Angle),探討切削時材料塑變行為與切削力之變化,並利用不同切削速度探討切削後之溝槽表面粗糙度。將二元合金熔煉後,利用不同冷卻速…