檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="電阻式氧氣感測器,氧化鈰,薄膜,濺鍍"
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本論文使用磁控式濺鍍沉積氧化鈰(CeO2)及摻雜釓與銀[(Gd2O3)x-(CeO2)1-x、Ag- CeO2]之氧化鈰固態薄膜電解質在氧化鋁基材上,後藉由熱處理後再濺鍍白金電極製備成電阻式氧氣感測…