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    階段濺鍍之氧化矽薄膜研究
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 彭裕傑 指導教授: 趙振綱
    • 本文將利用射頻磁控濺鍍機(RF magnetron sputter)濺鍍氧化矽薄膜於可撓性基材PET上,利用單階段濺鍍技術與雙階段濺鍍技術,並改變濺鍍功率,探討其對氧化矽薄膜之表面粗糙度、表…
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    以TDF-TEOS為先驅物利用電漿輔助化學氣相沈積系統製備含矽氟/碳氟鍵結的低介電係數膜與薄膜附著力之分析
    • 材料科學與工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 林錦川 指導教授: 洪儒生
    • 本論文的實驗採用分子結構類似TEOS的含碳氫氟長鏈和矽氧烷分子先驅物十三氟-1,1,2,2-四氫辛烷基-三乙氧基矽烷 (tridecafluoro-1,1,2,2-tetrahydrooctyl-t…
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    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)
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    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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