檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="晶圓翹曲"
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本研究提出一套創新的閃頻式晶圓翹曲量測技術,用以即時偵測有機金屬化學氣象沉積(MOCVD)製程中藍寶石晶圓之翹曲量及其輪廓。此套閃頻式晶圓翹曲量測技術以閃頻法、疊紋橫移理論、數位疊紋法、掃瞄輪廓法及…
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目前隨著產業與科技的快速發展,固態照明的發光二極體(Light-emitting diode,LED)產業已成為趨勢,故在產業上用途也相當的廣泛,由於LED之基板材料多是以單晶氧化鋁(Al2O3)或…