檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="反應式雙離子共濺鍍法"
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本實驗使用反應式離子束共濺鍍Zn及Mg金屬靶沉積MgxZn1-xO薄膜,利用不同離子束電流調整x = 0 ~ 0.46,薄膜沉積於Si (100)、玻璃及石英基板。XRD量測結果中,MgxZn1-x…