檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="\u0026nbsp\u003B\u0026nbsp\u003B共濺鍍"
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本研究利用磁控式共濺鍍系統沉積NiO-YSZ薄膜,並利用不同還原條件以形成具有奈米孔隙之Ni-YSZ陽極結構,用於固態氧化物燃料電池用來增加三相介面比例,降低反應極化電阻。 利用不同Ar與O2比…