檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="稀土元素" and ckeyword.raw="離子束濺鍍法"
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本研究以雙離子槍反應式離子束濺鍍法沉積摻鉺氧化鋅薄膜,藉由控制靶材所照射的離子電流以控制濺擊產率而達到控制鉺摻雜濃度之目的。在本實驗中摻鉺的氧化鋅薄膜可以得到位於近紅外範圍之1.0 (4I11/2 …