檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="氧化鋅" and ckeyword.raw="氮摻雜"
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此實驗使用反應式離子束濺鍍法沉積摻氮氧化鋅薄膜,採用陽極層離子源,以鋅為靶材,同時通入氬氣、氧氣及氮氣,探討氧/氮流量對摻氮氧氧化鋅薄膜的特性影響。實驗結果顯示在氧流量0.5 ~ 4.0 sccm,…