檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="氧化鈷/銅鈷氧化物薄膜特性研究" and ckeyword.raw="氧化鈷/銅鈷氧化物薄膜特性研究"
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本研究使用反應式離子束濺鍍法沉積氧化鈷與氧化鈷摻銅薄膜,改變氧氣/氬氧的比例(Opf=O2/(Ar+O2)及製程溫度(150°C,300°C),探討不同製程條件下對氧化鈷與氧化鈷摻銅薄膜之影響。實驗…