檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="材料移除率" and ckeyword.raw="鑽石研光"
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單晶碳化矽基板(Silicon Carbide, SiC)在功率元件市場的潛力極大,但單晶碳化矽基板因高硬度及抗化學性等特質,造成製造過程面臨加工時間冗長等問題。本研究主要研究4H單晶碳化矽基板的研…