檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="摻氮氧化鋅" and ckeyword.raw="活化能"
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本實驗使用反應式離子束濺鍍法沉積摻氮氧化鋅薄膜,採用陽極層離子源同時通入氬氣以及氮氣,以氧化鋅為靶材,成功的製備出摻氮氧氧化鋅薄膜。陽極層離子源具高電流之特性,可以提高濺擊產率增加薄膜沉積速度,且氮…