檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="拋光墊靜態特性雷達圖" and ckeyword.raw="材料移除率"
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近年來由於環保意識抬頭,可達節能減碳目的之LED照明因此快速發展,做為LED照明鍍膜基板的單晶藍寶石晶圓也因此受到重視及探討。然而,單晶藍寶石晶圓為硬度相當高(莫氏硬度9)之硬脆材料,其平坦化之加工…