檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="拋光墊修整" and ckeyword.raw="近似正交切削"
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半導體為世上重大發明且與現代生活密不可分,隨著世代的進化變遷,不斷的追求微細化及線路層層堆疊而對於晶片的考驗也越來越嚴苛,全域平坦化表面將成為相當重要得關鍵技術。化學機械拋光/平坦化(Chemica…