檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="拉曼" and ckeyword.raw="氧化鋅"
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本研究以反應式離子束濺鍍沉積摻氮氧化鋅薄膜,以鋅為靶材,同時通入氬氣、氧氣及氮氣,固定氬氣流量,探討氧氣和氮氣流量對摻氮氧化鋅薄膜的特性研究。實驗結果顯示當氧氣流量介於0.5 ~ 2.0 sccm,…