檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="化學機械平坦化" and ckeyword.raw="彩色共軛焦系統"
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本研究主要為研發線上拋光墊監測系統,透過彩色共軛焦量測系統架設應用於旋轉式拋光機台,利用拋光盤面的旋轉運動以及搖臂的搖擺旋轉運動,搭配彩色共軛焦系統擷取高度資訊,進行線上監測之拋光墊表面形貌的掃描及…