檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="化學機械平坦化" and ckeyword.raw="多角度交叉修整"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
在化學機械平坦化 (Chemical Mechanical Polishing/Planarization, CMP)的製程當中,鑽石修整製通常用來修整拋光墊表面形貌以及維持工作能力,以確保製程中的…