簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="雷射開槽加工"


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    雷射開槽應用於低介電係數 矽晶片切單之研究
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生: 彭德元 指導教授: 鍾俊輝
    • 現今IC半導體朝向單元件多運算功能整合之趨勢,需要高I/O密度,及更輕薄的封裝尺寸以達到摩爾定律,甚至超越摩爾定律的成長速度。電晶體的密度需求不斷的以倍數增加,也伴隨而來在製程上面對更多新的挑戰及新…
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    • 全文公開日期 2020/08/24 (校內網路)
    • 全文公開日期 2035/08/24 (校外網路)
    • 全文公開日期 2035/08/24 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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