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  • 檢索結果:共4筆資料 檢索策略: cdept.raw="材料科學與工程系" and ckeyword.raw="氮摻雜"


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    1

    利用電子迴旋共振與射頻混成電漿化學氣相沉積系統製備氮摻雜類鑽石碳薄膜
    • 材料科學與工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 陳柏霖 指導教授: 柯文政
    • 類鑽碳膜(Diamond-like carbon, DLC)具有高硬度、高絕緣性、高生物相容性、高化學惰性和導熱性等優點。本研究中,使用ECR電漿與RF電漿組成之混成式電漿化學氣相沉積系統( Hyb…
    • 點閱:246下載:1

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    反應式濺鍍製備錫與氮摻雜的銅硫氧化合物薄膜及其性質研究
    • 材料科學與工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 余銘浩 指導教授: 郭東昊
    • 本論文以實驗室自行壓製陶金靶材,採用RF反應式濺鍍法及利用氮氣混入濺鍍氣體進行製備n型的CuSnSO薄膜與p型的CuSnSNO薄膜,並探討靶材中不同SnS含量比例、沉積溫度及氮元素的摻雜對於薄膜品質…
    • 點閱:154下載:0
    • 全文公開日期 2023/08/01 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    反應式濺鍍法之不同陶金靶材及氧氣流量對氮摻雜氧化銦鎵鋅薄膜的影響
    • 材料科學與工程系 /109/ 碩士
    • 研究生: 沈倢汝 指導教授: 郭東昊
    • 本論文以含氮化物粉體的方式將N摻雜在IGZO前驅粉體中,並利用本實驗的真空熱壓機壓製而成N摻雜IGZO (IGZNO)靶材,經濺鍍獲得以N原子取代O原子的位置獲得N摻雜IGZO薄膜,期望藉由…
    • 點閱:217下載:2

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    陶金靶材之反應式濺鍍製備氮摻雜氧化銦鎵鋅薄膜及其性質研究
    • 材料科學與工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 黃郁凱 指導教授: 郭東昊
    • 本論文以本實驗室自行壓製陶金(陶瓷+金屬)靶材,採用RF反應式濺鍍法製備N摻雜的IGZO薄膜,以N取代O的位置,期望提高IGZO薄膜內的氮含量來提升載子遷移率及提升電性穩定性。實驗中,觀察在不同氧氣…
    • 點閱:302下載:5
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