檢索結果:共3筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="周賢鎧" and ckeyword.raw="薄膜"
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本研究利用共濺鍍系統沉積出TaN(Cu)的混合薄膜,並使用電漿氧化的方式直接氧化下電極製作出中間電阻層,之後再沉積出TaN薄膜當作上電極,製備出TaN/Cu-TaOx/TaN(Cu)的MIM三層結構…
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中文摘要 本論文研究在氧化鋁基材上利用網印法塗佈高溫銀膠,經高溫燒結後作為電極,接著以真空磁控濺鍍法於其上成長鈷薄膜,再於不同氣氛下以加熱板直接加熱使其表面產生微奈米結構氧化鈷,以提高其比表面積,製…
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本研究已成長高品質氮化銦(InN)薄膜在氮化鎵(001)的基板上,利用高解離性的氮源(HN3)來當化學束磊晶技術來成長薄膜。成長薄膜特性分析儀器使用:高解析度場發射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)、高…