檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="氮氧化矽" and ckeyword.raw="量子點" and ckeyword.raw="量子點"
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本研究利用反應式磁控濺鍍(Magnetron sputtering)系統配合高真空下的熱退火製程,成功製備出含有不同氮、氧濃度之氮氧化矽(SiOxNy)單層薄膜以及氮氧化矽/矽(SiON/Si)之多…